聚合物蚀刻剂及其使用方法

摘要

本发明提供一种组合物，其包括：用于蚀刻聚合材料之水溶液，该水溶液包括约30wt.％至约55wt.％之硷金属盐；溶于该溶液中之约10wt.％至约35wt.％之增溶剂；及溶于该溶液中之约3wt.％至约30wt.％之乙二醇。本发明亦提供一种方法，其包括：提供一聚合薄膜；使该聚合薄膜与水溶液接触，该水溶液包括约30wt.％至约55wt.％之硷金属盐，溶于该溶液中之约10wt.％至约35wt.％之增溶剂，及溶于该溶液中之约3wt.至约30wt.％之乙二醇。