发明名称
摘要
申请公布号 JP3937162(B2) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 JP20020293500 申请日期 2002.10.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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