| 发明名称 |
阳极板及包括所述阳极板的溅镀装置 |
| 摘要 |
本发明涉及一种阳极板及一种包括所述阳极板的溅镀装置。所述阳极板包括基板与挡板，所述挡板设置于所述基板上，用于紧贴待溅镀的基材侧面，且挡板顶部高出所述基材的顶部。利用本发明的阳极板溅镀DLC膜层，在基材表面边缘处不产生包覆结构，膜层不易脱落。 |
| 申请公布号 |
CN1986874A |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
| 申请号 |
CN200510121252.0 |
申请日期 |
2005.12.23 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
萧博元 |
| 分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种阳极板，其包括基板与挡板，所述挡板设置于所述基板上，用于紧贴待溅镀的基材侧面，且挡板顶部高出所述基材的顶部。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
