| 发明名称 |
Exposure apparatus and device manufacturing method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1582933(A3) |
申请公布日期 |
2007.06.27 |
| 申请号 |
EP20050251986 |
申请日期 |
2005.03.30 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
KORENAGA, NOBUSHIGE;NISHIMURA, NAOSUKE |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/68 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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