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发明名称 INDIUM NITRIDE LAYER PRODUCTION
摘要
申请公布号 EP1799886(A1) 申请公布日期 2007.06.27
申请号 EP20050802711 申请日期 2005.09.14
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) ETABLISSEMENT PUBLIC;UNIVERSITE MONTPELLIER II 发明人 GIL, BERNARD;BRIOT, OLIVIER, GERARD, SERGE;RUFFENACH, SANDRA;MALEYRE, BENEDICTE;CLOITRE, THIERRY, JOSEPH, ROLAND;AULOMBARD, ROGER-LOUIS
分类号 C30B29/38;H01L21/20;H01L21/205;H01L33/26 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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