发明名称 |
半导体器件接触器 |
摘要 |
半导体器件(20)的接触器(10A),包括用于保持带有许多端子(21)的半导体器件的底座部件(12A)和带有至少与一些端子对应的接触电极(14)的布线基板(11A)。在布线基板被吸在底座部件上时接触电极和端子电连接。在底座部件和布线基板之间还设有施加保持位置力机构装置(17)及在半导体器件和布线基板之间设有施加接触压力机构装置(16)。机构装置(16)可以独立方式操作的。 |
申请公布号 |
CN1322567C |
申请公布日期 |
2007.06.20 |
申请号 |
CN99118308.8 |
申请日期 |
1999.08.26 |
申请人 |
富士通株式会社 |
发明人 |
丸山茂幸;深谷太;长谷山诚 |
分类号 |
H01L21/66(2006.01);G01R31/26(2006.01);G01R1/06(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
杜日新 |
主权项 |
1.一种用于半导体器件(20)的接触器(10A),所述接触器(10A)包括用于保持带有多个端子(21)的半导体器件(20)的底座部件(12A)和在与至少一些所述端子(21)对应的位置上装有接触电极(14)的布线基板(11A),所述布线基板(11A)被吸持在所述底座部件(12A)上时所述接触电极(14)和所述端子(21)被电连接,所述接触器(10A)其特征在于进一步包括:施加保持位置力机构装置(17),用于在所述底座部件(12A)和所述布线基板(11A)之间施加保持位置力,将保持位置力施加在所述接触电极(14)与所述端子(21)连接区之外的区域;和施加接触压力机构装置(16),用于在所述半导体器件(20)和所述布线基板(11A)之间施加接触压力,将接触压力施加在所述接触电极(14)与所述端子(21)连接区,其中所述施加接触压力机构由所述布线基板的下侧施加接触压力,所述施加保持位置力机构装置(17)和所述施加接触压力机构装置(16)是能以独立方式操作的。 |
地址 |
日本神奈川 |