退火诱发的金属膜固态非晶相反应

摘要

一种以高玻璃形成能力之铜为主的多元素合金薄膜，其系由具有实质相同之化学组成的合金来源沉积成薄膜形式，再经由退火过程诱发可以高达几十微米等级之广泛遍布整个薄膜的部份或全部非晶相。此种可控制之整个薄膜的广泛非晶相反应有助于调制非晶相对结晶相的比例，方便建立组成结构和薄膜性质之间的关系，进而设计出具有特定性质的薄膜；如当为完全非晶相薄膜时电阻系数增加为原来的20倍。