膜形成组合物、使用该组合物的图案形成方法以及立体模型

摘要

本发明之课题系提供一种膜形成组合物、使用该膜形成组合物之图案形成方法以及立体模型，该膜形成组合物能够得到显像后之膜的凹凸所产生的对比经增强之图案。本发明之解决手段系将能够感应光或热至少其中一方，来控制所形成的膜在显像液中的溶解度之化合物，调配在下述化学式(A)所示烷氧基金属化合物的加水分解物或缩合物至少其中任一种组合物中；R1n-M(OR2)4-n ˙˙˙(A)(式中，M系矽、锗、钛、钽、铟、或锡，R1系氢原子、或1价的有机基，R2系1价的有机基，n系表示1~3的整数)。