| 发明名称 |
Bearbeitungsanlage modularen Aufbaus für flächige Substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102005040741(B4) |
申请公布日期 |
2007.06.14 |
| 申请号 |
DE200510040741 |
申请日期 |
2005.08.26 |
| 申请人 |
ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG |
发明人 |
HUEGLER, KLAUS |
| 分类号 |
B65G49/05;H01L21/67;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G49/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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