发明名称 卡匣、机械手臂和工艺设备
摘要 一种卡匣,其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内,且传送单元包括多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中,这些滚轴适用于承载基板,而此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外,本发明亦披露一种机械手臂和工艺设备。
申请公布号 CN1978287A 申请公布日期 2007.06.13
申请号 CN200510127719.2 申请日期 2005.12.02
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 刘大有
分类号 B65D85/48(2006.01);B65D85/86(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/673(2006.01) 主分类号 B65D85/48(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 陈亮
主权项 1.一种卡匣,适于容置至少一个基板,其特征是该卡匣包括:壳体;至少一个传送单元,设置于该壳体内,该传送单元包括:多个滚轴,适于承载该基板;以及至少一个磁性导螺杆,该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接,在该磁性导螺杆转动时,该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动,以使该基板移动。
地址 中国台湾台北市中山北路三段二十二号