发明名称 |
卡匣、机械手臂和工艺设备 |
摘要 |
一种卡匣,其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内,且传送单元包括多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中,这些滚轴适用于承载基板,而此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外,本发明亦披露一种机械手臂和工艺设备。 |
申请公布号 |
CN1978287A |
申请公布日期 |
2007.06.13 |
申请号 |
CN200510127719.2 |
申请日期 |
2005.12.02 |
申请人 |
中华映管股份有限公司 |
发明人 |
刘大有 |
分类号 |
B65D85/48(2006.01);B65D85/86(2006.01);B65G49/07(2006.01);H01L21/673(2006.01) |
主分类号 |
B65D85/48(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陈亮 |
主权项 |
1.一种卡匣,适于容置至少一个基板,其特征是该卡匣包括:壳体;至少一个传送单元,设置于该壳体内,该传送单元包括:多个滚轴,适于承载该基板;以及至少一个磁性导螺杆,该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接,在该磁性导螺杆转动时,该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动,以使该基板移动。 |
地址 |
中国台湾台北市中山北路三段二十二号 |