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发明名称 USING OZONE TO PROCESS WAFER LIKE OBJECTS
摘要
申请公布号 EP1794783(A1) 申请公布日期 2007.06.13
申请号 EP20050796681 申请日期 2005.09.13
申请人 FSI INTERNATIONAL, INC. 发明人 CHRISTENSON, KURT, K.;CLARK, PHILIP, G.
分类号 H01L21/311;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/00 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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