发明名称 硅基光感测元件及其制造方法
摘要 一种制造光感测元件的方法,其包含:制备硅基材;于该硅基材之上形成图案化平台;以及于该图案化平台上形成图案化导电层。
申请公布号 CN1976065A 申请公布日期 2007.06.06
申请号 CN200610103609.7 申请日期 2006.07.24
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 林哲歆;李隆盛;王庆钧
分类号 H01L31/18(2006.01);H01L31/08(2006.01);H01L31/0224(2006.01) 主分类号 H01L31/18(2006.01)
代理机构 北京连和连知识产权代理有限公司 代理人 王光辉
主权项 1.一种制造光感测元件之方法,其特征是包括:制备硅基材;形成图案化平台于该硅基材上;以及形成图案化导电层于该图案化平台上。
地址 台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号