发明名称 | 硅基光感测元件及其制造方法 | ||
摘要 | 一种制造光感测元件的方法,其包含:制备硅基材;于该硅基材之上形成图案化平台;以及于该图案化平台上形成图案化导电层。 | ||
申请公布号 | CN1976065A | 申请公布日期 | 2007.06.06 |
申请号 | CN200610103609.7 | 申请日期 | 2006.07.24 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 林哲歆;李隆盛;王庆钧 |
分类号 | H01L31/18(2006.01);H01L31/08(2006.01);H01L31/0224(2006.01) | 主分类号 | H01L31/18(2006.01) |
代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王光辉 |
主权项 | 1.一种制造光感测元件之方法,其特征是包括:制备硅基材;形成图案化平台于该硅基材上;以及形成图案化导电层于该图案化平台上。 | ||
地址 | 台湾省新竹县竹东镇中兴路四段195号 |