发明名称
摘要
申请公布号 JP3924734(B2) 申请公布日期 2007.06.06
申请号 JP19970138208 申请日期 1997.05.28
申请人 发明人
分类号 H01J27/16;H05H1/46;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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