功率元件闸极接触结构

摘要

一种功率元件闸极接触结构，包括一具有沟槽的基板，一第一绝缘层位于该基板上及该沟槽的底部与侧壁，一闸极导电层位于该沟槽内并跨越该沟槽的单侧，一第二绝缘层覆盖该闸极导电层，一接触窗位于该第二绝缘层中对应该沟槽与该单侧以曝露该闸极导电层之一表面，以及一闸极金属于该接触窗内与该闸极导电层接触形成电性连接。