发明名称 |
包含电子放电产生器之微影装置及清理微影装置之元件之方法 |
摘要 |
本发明系关于一种清理一微影装置之元件(例如,诸如一集光器镜之光学元件)的方法,其包含提供一含氮气体;自该气体之至少一部分产生氮自由基,藉此形成一含自由基气体;及提供该含自由基气体之至少一部分至该装置的一或多个元件。一微影装置包含一发射源及一光学元件,及一经配置以产生一射频放电之电子放电产生器。 |
申请公布号 |
TW200719983 |
申请公布日期 |
2007.06.01 |
申请号 |
TW095132583 |
申请日期 |
2006.09.04 |
申请人 |
ASML公司 |
发明人 |
泰坦雅 维多罗娜 洛希墨瓦;凡丁 叶弗真叶米希 白尼;强尼斯 贺伯特斯 莎菲纳 摩斯;JOSEPHINA;法拉帝莫 维塔拉维屈 依法诺;康士坦汀 尼可拉威屈 卡士李;NIKOLAEVITCH;亚历山大 瑟吉维奇 柯瓦利;多明特瑞 维多罗娜 罗佩孚 |
分类号 |
B08B3/00(2006.01);H01L21/00(2006.01) |
主分类号 |
B08B3/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
荷兰 |