微影装置及元件制造方法

摘要

本发明揭示微影装置及元件制造方法。本发明关于一物品支撑部件，其于该物品支撑上经配置以支撑欲置放于一微影装置之辐射光束之光束路径中的物品；该物品支撑部件包括：一第一材料之一基底板；以及一第二材料之复数个凸节，其接合至该第一材料之该基底板。