薄片贴附装置及贴附方法

摘要

本发明之薄片贴附装置及贴附方法，其晶圆W系各自被工作台13的各内侧工作台52所支撑，在带状的薄片S被送到这些晶圆W的上面侧后，按压辊14就会施以按压力。黏接薄片S系利用被装设在机器人15之自由端侧的切刃63，沿着晶圆的外缘予以切断。该机器人15系具有将切刃63置换为吸附臂100，并将晶圆W从仓匣200运送到工作台13，且把已贴附薄片的晶圆W移载至后步骤的功能。