| 发明名称 |
INSPECTION METHOD AND INSPECTION EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR20070056147(A) |
申请公布日期 |
2007.05.31 |
| 申请号 |
KR20077008712 |
申请日期 |
2007.04.17 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
SHINOZAKI DAI;KOMATSU SHIGEKAZU |
| 分类号 |
G01R1/06;G01R31/28;G01R31/3161;G01R31/319;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
