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发明名称 CHUCK TABLE WITH A SUPPORT LAYER
摘要
申请公布号 KR20070054796(A) 申请公布日期 2007.05.30
申请号 KR20050112748 申请日期 2005.11.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOON, SUNG HWAN
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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