发明名称 |
具有抑制特性偏移的结构的薄膜晶体管面板及其制造方法 |
摘要 |
一种薄膜晶体管面板包括:基板(1);薄膜晶体管(3),形成在基板(1)上,具有栅电极(6)、栅绝缘膜(7)、半导体薄膜(8)、在半导体薄膜(8)上形成的一对欧姆接触层(10、11)、以及在各欧姆接触层(10、11)上形成的源电极(12)和漏电极(13),半导体薄膜(8)在源电极(12)和漏电极(13)之间具有沟道区域;像素电极(2),与薄膜晶体管(3)的源电极(12)连接;以及第一和第二导电性被覆膜(14、15),设置在源电极(12)侧和漏电极(13)侧的上部,由与像素电极(2)相同的材料形成;第一导电性被覆膜(14)的宽度比源电极(12)的宽度宽,第二导电性被覆膜(15)的宽度比漏电极(13)的宽度宽。 |
申请公布号 |
CN1971919A |
申请公布日期 |
2007.05.30 |
申请号 |
CN200610171869.8 |
申请日期 |
2006.10.20 |
申请人 |
卡西欧计算机株式会社 |
发明人 |
石井裕满 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/84(2006.01);H01L21/768(2006.01);G02F1/1362(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
陈英俊 |
主权项 |
1.一种薄膜晶体管面板,包括:基板(1);薄膜晶体管(3),形成在所述基板(1)上,具有栅电极(6)、栅绝缘膜(7)、半导体薄膜(8)、在所述半导体薄膜(8)上形成的一对欧姆接触层(10、11)、以及在所述各欧姆接触层(10、11)上形成的源电极(12)和漏电极(13),所述半导体薄膜(8)在所述源电极(12)和所述漏电极(13)之间具有沟道区域;像素电极(2),与所述薄膜晶体管(3)的所述源电极(12)连接;以及第一和第二导电性被覆膜(14、15),设置在所述源电极(12)侧和所述漏电极(13)侧的上部,由与所述像素电极(2)相同的材料形成;所述第一导电性被覆膜(14)的宽度比所述源电极(12)的宽度宽,所述第二导电性被覆膜(15)的宽度比所述漏电极(13)的宽度宽。 |
地址 |
日本东京都 |