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发明名称 METHOD TO DEPOSIT FUNCTIONALLY GRADED DIELECTRIC FILMS VIA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION USING VISCOUS PRECURSORS
摘要
申请公布号 KR20070054201(A) 申请公布日期 2007.05.28
申请号 KR20077005803 申请日期 2007.03.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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