用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正

摘要

激光射束定位器(图12，340，236，260，262，302，304，310，312，316，318，320，322，324，326，328，330，336，342)使用一种操作镜，其执行激光射束的小角度反射，以补偿定位器平台的交叉轴的定位误差。由于定位器平台任一轴可以用于执行工作，因此一种两轴操作镜是优选的。在一个实施例中，操作镜仅用于误差校正，而不需要以定位器平台的位置命令来协调。在半导体连接处理(“SLP”)的应用中，一种使用弯曲机构以及压电驱动装置来倾倒以及倾斜该镜子的快速操作镜是优选的。本发明补偿交叉轴的定位时间，致使SLP系统的产量以及精度增加，同时由于该操作镜的校正会宽松化定位器平台的伺服驱动需求，因而简化了定位器平台的复杂度。

主权项

1.一种用来引导一激光射束朝向一工件上目标位置，以响应目标位置的坐标位置命令信息的设备，所述工件具有工件表面，所述设备包括：一定位器，其响应坐标位置命令信息，而让工件和激光射束彼此相对定位；位置传感器，其耦合到所述定位器，用以产生位置信号，指示所述定位器实际的坐标位置；处理电路，用于对坐标位置命令信息以及所述位置信号进行比较，以从所述比较中提供一个或两个误差信号，指示所述坐标位置命令信息与所述实际坐标位置之间的差异，该差异包括表示工件表面的激光束位置误差的瞬间信号分量；一操作镜控制器系统，用以产生位置校正信号以响应每个给出的误差信号；一两轴操作镜，其包括一枢轴点，并被定位在所述枢轴点处或者足够接近所述枢轴点以接收所述激光射束，以致该两轴操作镜响应位置校正信号使所述激光射束转动，该转动以一种足以补偿所述激光束位置误差的方式来偏转所述激光束；以及一聚焦透镜，其具有进入光瞳，并被定位以接收偏转激光束并且将其聚焦于工件的目标位置，该进入光瞳被安装在所述枢轴点处或者足够接近所述枢轴点，以提供基本不失真的偏转激光束。