隔膜促动微机电开关

摘要

一种设置有可弯曲隔膜(60)的微机电(MEM)RF开关，该隔膜促动开关触点或柱塞(40)。隔膜结合有叉指型金属电极(70)，所述电极在被DC电场促动时于隔膜中引起应力梯度。该应力梯度引起隔膜(60)的可预测弯曲或位移，并用于机械地移位开关触点(30)。位于空腔(250)内的RF间隙区域(25)与叉指型金属电极(70)之间的间隙(71)完全分离。隔膜在两个相反的方向上被静电移位，从而帮助促动和释放开关。所述微机电开关包括：空腔(250)；与作为空腔的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为空腔(250)的边界的第一表面平行的柔性隔膜(60)，柔性隔膜(60)具有多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着到柔性隔膜(60)上的柱塞(40)，柱塞(40)具有与导电路径电接触的导电表面，打开和闭合该开关。

主权项

1.一种微机电系统开关，包括：空腔(250)；与作为所述空腔(250)的边界的第一表面整合的至少一个导电路径(20)；与作为所述空腔(250)的边界的所述第一表面平行的柔性隔膜(60)，所述柔性隔膜(60)具有附着在其上的多个促动电极(70)；以及在离开所述促动电极(70)的方向上附着在所述柔性隔膜(60)上的柱塞(40)，所述柱塞(40)具有至少一个导电表面(30)以与所述至少一个导电路径(20)进行电接触。