发明名称 |
非挥发性存储器及其制造方法与操作方法 |
摘要 |
一种非挥发性存储器设置于第一导电型基底上,其具有栅极、第二导电型漏极区、电荷储存层以及第二导电型第一淡掺杂区。栅极设置于第一导电型基底上。第二导电型漏极区设置于栅极的第一侧的第一导电型基底中。电荷储存层设置于栅极的第一侧的第一导电型基底上,且位于第二导电型漏极区与栅极之间。第二导电型第一淡掺杂区设置于栅极的第二侧的第一导电型基底中,其中第二侧与第一侧相对。 |
申请公布号 |
CN1967879A |
申请公布日期 |
2007.05.23 |
申请号 |
CN200610142554.0 |
申请日期 |
2006.10.30 |
申请人 |
力旺电子股份有限公司 |
发明人 |
王世辰;陈信铭;卢俊宏;何明洲;沈士杰;徐清祥 |
分类号 |
H01L29/792(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/8247(2006.01);G11C16/02(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/792(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1、一种非挥发性存储器,包括:第一存储单元,设置于第一导电型基底,该第一存储单元包括:栅极,设置于该第一导电型基底上,第二导电型漏极区,设置于该栅极的第一侧的该第一导电型基底中;电荷储存层,设置于该栅极的该第一侧的该第一导电型基底上,且位于该第二导电型漏极区与该栅极之间;以及第二导电型第一淡掺杂区,设置于该栅极的第二侧的该第一导电型基底中,该第二侧与该第一侧相对。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |