排液头制造方法，和使用该方法得到的排液头

摘要

根据本发明，一种用于制造排液头的方法包括步骤：在其上排列有能量产生元件(2)以产生用于排出液体的能量的基板(1)上，形成用于形成流路的固体层(3)；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层(4)；在沉积在固体层的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口(7)；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路(8)，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，和其中固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。

主权项

1.一种用于制造排液头的方法，包括步骤：在其上排列有能量产生元件以产生用于排出液体的能量的基板上，形成用于形成流路的固体层；在其上设置有固体层的基板上形成用于覆盖固体层的涂层；在沉积在固体层上的涂层中通过光刻工艺形成用于排出液体的排出口；和去除固体层以形成与能量元件和排出口连通的流路，其中用于涂层的材料包含阳离子聚合性化合物，阳离子光聚合反应引发剂和阳离子光聚合反应的抑制剂，用于固体层的材料包含甲基丙烯酸和甲基丙烯酸酯的共聚物，所述固体层与其中形成涂层的排出口的那部分形成边界。