| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Probenmanipulationsvorrichtung, die eine Beobachtungseinheit, mit der eine Probe (3) beobachtet und eine Soll -Position, an der sich ein zu entnehmender Teil der Probe (3) befindet, ausgewählt wird, sowie einen Probentisch (4) , der die Probe (3) aufnimmt, umfaßt. Bei einer solchen Probenmanipulationsvorrichtung ist ein räumlich relativ zur Beobachtungseinheit verstellbares Manipulationswerkzeug (6) mit einer Manipulationsspitze (7) , mit der der Probe (3) Teile entnommen werden, eine Steuereinheit (14) , mit der die Verstellung des Manipulationswerkzeugs (6) gesteuert wird, sowie eine mit der Steuereinheit (14) verbundene optische Positionsmeßeinheit (8, 10) vorhanden, wobei mit der optischen Positionsmeßeinheit die Ist-Position der Manipulationsspitze (7) bestimmt wird, so daß eine gezielte Verstellung der Manipulationsspitze (7) zur Soll -Position durchgeführt werden kann.</p> |
