发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DÜNNER, SCHWER LÖSLICHER BESCHICHTUNGEN
摘要
申请公布号 AT361380(T) 申请公布日期 2007.05.15
申请号 AT20020798256T 申请日期 2002.11.29
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBH 发明人 MUFFLER, HANS-JUERGEN;BAER, MARCUS;MUELLER, FELIX;FISCHER, CHRISTIAN-HERBERT;LUX-STEINER, MARTHA CHRISTINA
分类号 C23C8/02;C23C24/08;C23C26/00;(IPC1-7):C23C20/06;H01L31/18 主分类号 C23C8/02
代理机构 代理人
主权项
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