发明名称 | 静态随机存取记忆体单元 | ||
摘要 | 一种静态随机存取记忆体单元,包括一基底、一层闸介电层、一个闸极、一个沟渠式电容器、一个源极/汲极区、一个第一接触窗及一个第二接触窗。其中,基底已形成有一个沟渠,而闸介电层配置于基底上。闸极配置于闸介电层上,而沟渠式电容器配置于闸极一侧的沟渠中。源极/汲极区配置于闸极两侧的基底中,闸极一侧的源极/汲极区是位于闸极与沟渠式电容器之间。第一接触窗电性连接于沟渠式电容器,而第二接触窗电性连接于闸极另一侧的源极/汲极区。 | ||
申请公布号 | TW200737421 | 申请公布日期 | 2007.10.01 |
申请号 | TW095109610 | 申请日期 | 2006.03.21 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 黄俊麒;梁佳文;林永昌;李瑞池 |
分类号 | H01L21/8244(2006.01) | 主分类号 | H01L21/8244(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |