发明名称 静态随机存取记忆体单元
摘要 一种静态随机存取记忆体单元,包括一基底、一层闸介电层、一个闸极、一个沟渠式电容器、一个源极/汲极区、一个第一接触窗及一个第二接触窗。其中,基底已形成有一个沟渠,而闸介电层配置于基底上。闸极配置于闸介电层上,而沟渠式电容器配置于闸极一侧的沟渠中。源极/汲极区配置于闸极两侧的基底中,闸极一侧的源极/汲极区是位于闸极与沟渠式电容器之间。第一接触窗电性连接于沟渠式电容器,而第二接触窗电性连接于闸极另一侧的源极/汲极区。
申请公布号 TW200737421 申请公布日期 2007.10.01
申请号 TW095109610 申请日期 2006.03.21
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 黄俊麒;梁佳文;林永昌;李瑞池
分类号 H01L21/8244(2006.01) 主分类号 H01L21/8244(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号