| 主权项 |
1.一种铜孔目性材料上生成奈米碳管之制作方法, 其步骤系包括: (a)提供一铜孔目性材料; (b)于该铜孔目性材料上铺洒一矽胶材料; (c)将该铜孔目性材料与该矽胶材料一起压制成一 多孔性铜孔目性基材;以及 (d)于该多孔性铜孔目性基材上生成奈米碳管。 2.如申请专利范围第1项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中步骤(a)中该铜孔目性 材料系由复数个铜孔目性材料片堆叠形成。 3.如申请专利范围第1项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中该矽胶材料系为多孔 性二氧化矽胶。 4.如申请专利范围第1项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中步骤(c)中将该铜孔目 性材料与该矽胶材料一起压制成一多孔性铜孔目 性基材之方法,系以油压机于3000~15000磅之作用力 下压制而成。 5.如申请专利范围第1项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中步骤(d)之生成奈米碳 管的方式系使用化学气相沉积法。 6.如申请专利范围第5项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中利用化学气相沉积法 生成奈米碳管之方法系包括: (i)提供一化学气相沉积系统,其系具有前后两个管 形炉,前为一挥发加温炉,后为一化学气相沉积反 应炉,两反应炉之间系经由一石英管导通; (ii)将该多孔性铜孔目性材料基材置入该化学气相 沉积反应炉中,再将该反应炉温度加温并维持在750 ~900℃; (iii)将一碳源与一触媒源前驱物(precursor)置入该挥 发加温炉中,再将该挥发加温炉加温并控制在460~ 600℃以使该触媒源前驱物挥发; (iv)利用一载流气体将已挥发之该触媒源前驱物带 至该化学气相沉积反应炉,则遂可在该多孔性铜孔 目性基材上生成奈米碳管。 7.如申请专利范围第6项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中该触媒源前驱物系为 有机金属化合物FePc(II)。 8.如申请专利范围第6项所述之铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法,其中该载流气体系为氢气 、氩气以及两者之混合气体其中之一。 图式简单说明: 图一A至图一C系为本发明一种铜孔目性材料上生 成奈米碳管之制作方法的最佳实施例示意图。 图二系为本发明所应用之化学气相沉积系统示意 图。 |
