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发明名称 AIR KNIFE FOR DRYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070044087(A) 申请公布日期 2007.04.27
申请号 KR20050099981 申请日期 2005.10.24
申请人 K.C.TECH CO., LTD. 发明人 YOON, GEUN SIK
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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