| 发明名称 |
IN-LINE HEATER FOR USE IN SEMICONDUCTOR WET CHEMICAL PROCESSING AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1774571(A2) |
申请公布日期 |
2007.04.18 |
| 申请号 |
EP20050759168 |
申请日期 |
2005.06.10 |
| 申请人 |
WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY |
发明人 |
LIN, HONGY |
| 分类号 |
H01L21/00;C23C4/16;C23C14/18;C23C16/06;H05B3/16;H05B3/26;H05B3/28;H05B3/78 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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