首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
用于形成半导体元件之接触孔的方法
摘要
提供一种形成半导体元件之接触孔的方法。形成复数个传导图案于一基板上。形成一绝缘层于该基板上以埋覆该些传导图案。含有一非晶形碳层与一氧化物系层之硬遮罩依序形成于绝缘层与传导图案上。选择性蚀刻该非晶形碳层与氧化物层以形成一遮罩图案。使用该遮罩图案作为一遮罩蚀刻该绝缘层以形成一接触孔。
申请公布号
TW200715471
申请公布日期
2007.04.16
申请号
TW095120888
申请日期
2006.06.13
申请人
海力士半导体股份有限公司
发明人
李圣权
分类号
H01L21/768(2006.01)
主分类号
H01L21/768(2006.01)
代理机构
代理人
何金涂;林荣琳
主权项
地址
韩国
您可能感兴趣的专利
IMPROVED WATERPROOF AND HEAT-INSULATING TANK BUILT IN SUPPORT STRUCTURE
FERMENTING AND STORING APPARATUS
OPTICAL SORTING METHOD OF BULK MATERIAL
WATER-BASED VULCANIZABLE ADHESIVE
AUTOMATIC APPARATUS AND METHOD FOR CALENDER PROCESSING OF ALUMINUM PROFILE
HOT ROLLING METHOD OF AL-LI ALLOY
FAR INFRARED RADIATOR
RESIN COMPOSITION WITH HIGH REFRACTIVE INDEX AND/OR RADIATION IMPERMEABILITY
POLYESTER BULKY WOVEN FABRIC
PRODUCTION OF THIN-THICK PROCESSED YARN HAVING HIGH STRETCHABILITY
COATED HARD ALLOY
OPTICAL LIQUID-CRYSTAL ELEMENT
LIQUID CRYSTAL COMPOSITION, LIQUID CRYSTAL ELEMENT CONTAINING THE SAME AND LIQUID CRYSTAL DEVICE CONTAINING THE SAME
LOW YIELD RATIO-TYPE STEEL PLATE HAVING ABOVE 590N/SQUARE MM TENSILE STRENGTH EXCELLENT IN WELD CRACK RESISTANCE AND ITS PRODUCTION
STEEL FOR HIGH STRENGTH LINE PIPE HAVING LOW YIELD RATIO AND EXCELLENT IN LOW TEMPERATURE TOUGHNESS
FLAME-RETARDANT RESIN COMPOSITION AND FLAME-RETARDANT RESIN MOLDING
MULTILAYER LAMINATE
DECORATIVE VINYL CHLORIDE SHEET
PRODUCTION OF MASTERBATCH PELLET FOR MODIFYING THERMOPLASTIC RESIN
LIPID COMPOSITION FOR PERFUMERY AND COSMETICS AND ITS PREPARATION