检测装置及检查装置

摘要

本发明提供一种用以削减检测装置之交换作业所伴随之时间耗损的检查装置，具备有：接收试料所放出之电子束，而取得显示试料之影像资料的复数个检测装置11、12；用以使电子束入射至复数个检测装置11、12中的一个的切换机构M；其中，系将复数个检测装置11、12配置于同一容器MC内。复数个检测装置11、12可以是，具备将电子束变换为电性讯号之电子感应器的检测装置、与具备将电子束变换为光、再使该光变换为电性讯号之光感应器的检测装置的任意组合。切换机构M可以是机械式移动机构或电子束偏向器。