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发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070040071(A) 申请公布日期 2007.04.16
申请号 KR20050095382 申请日期 2005.10.11
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUNG IL;JEE, YEON HONG
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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