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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON STRUKTUREN IM NANOMETERBEREICH
摘要
申请公布号 AT358890(T) 申请公布日期 2007.04.15
申请号 AT20020706639T 申请日期 2002.01.29
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 KLUTH, PATRICK;ZHAO, QUING-TAI;MANTL, SIEGFRIED
分类号 H01L21/285;H01L21/308;H01L21/3213;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;B81C1/00;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/335;H01L21/74 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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