| 主权项 |
1.一种可电控调整之调针机,适用于调整一探针卡 上的复数探针,包含: 一基座; 一固定单元,是设置于该基座上并可定置该探针卡 ; 一举臂单元,是间隔设置于该固定单元上方并可被 驱动以相对于该固定单元上下位移,该举臂单元具 有两个间隔相对之举臂,且当该探针卡被定置在该 固定单元上时,该复数探针是朝向该举臂单元; 一定置单元,是可拆卸地锁固于该举臂单元上,该 定置单元包括有一可被固置于该两举臂之间的框 架,且当该探针卡被定置在该框架上时,该复数探 针是朝向该举臂单元; 一观视单元,是设于该举臂单元的上方,而可供放 大地观察该复数探针;及 一控制面板单元,是与该举臂单元电连接,而可操 控该举臂单元之作动。 2.依据申请专利范围第1项所述之可电控调整之调 针机,更包含有一可分离地设置于该固定单元上的 承载单元,其包括有一底板、一围绕设置于该底板 上的围绕壁,及一垂直该围绕壁周缘并水平向外延 伸之顶板,且该底板与该围绕壁相配合围绕界定出 一容置空间。 3.根据申请专利范围第1或2项之具有双向调针功能 之调针机,更包含有一可分离地设置于该固定单元 上的吸附单元,该吸附单元具有一中空的壳体,及 复数贯通该壳体的吸孔。 4.根据申请专利范围第3项之具有双向调针功能之 调针机,其中,该控制面板单元包括有一用以控制 一外来电流通过与否之电源开关件、一用以使该 举臂单元回归至原点之原点重置件、一用以控制 该举臂单元每次移行之单位距离的移距切换件、 一调整该举臂单元之位置的调位转盘,以及一用以 使该驱动单元停止运转之停机件。 5.根据申请专利范围第4项之具有双向调针功能之 调针机,其中,该控制面板单元包括有一可显示该 举臂单元之位移程度,并可被接触而控制该举臂单 元之作动的触控式面板。 6.根据申请专利范围第5项之具有双向调针功能之 调针机,其中,该控制面板单元更包括有一用以控 制该举臂单元上下位移至垂直分隔的两定点之脚 踏式控制器。 图式简单说明: 图1是一般探针卡的侧视示意图; 图2是一般调针机的立体示意图; 图3是一晶圆上一个晶粒的上视示意图,说明该晶 粒上之复数电极垫的排列关系; 图4是本新型可电控调整之调针机第一较佳实施例 的立体分解示意图; 图5是图4中之该较佳实施例的立体示意图,说明该 较佳实施例向上调针时的组合态样; 图6是本新型可电控调整之调针机的一控制面板单 元的示意图,说明其构件之相对关系位置; 图7是本新型可电控调整之调针机第二较佳实施例 的立体分解示意图;及 图8是图7中之该第二较佳实施例的立体示意图,说 明该较佳实施例向上调针时的组合态样。 |
