半导体制造装置用晶圆传输机

摘要

【物品用途】本创作的物品是一种半导体制造装置用晶圆传输机，是为了在各处理室之间，输送待处理之晶圆所用的传输机。【创作特点】由俯视图观之，在传输机上具有平面观看之略呈五角形的部分，且可如各参考立体图所示，在其中的三面配合处理晶圆的需求，而安装上四台或六台的半导体制造用处理室；此外，在五角形部分的台面上，设有六个可开闭的小长方形铰链，另外立体图及前视图所示，在该传输机的正面设有以三个为一组的操作台以及两个独立的操作台；综上所述，本创作经完善的规划，极力缩小各处理室所占的空间，使其能流畅且快速的进行各项制程，确为一理想美观之设计。