| 发明名称 | 用于保持测量仪器的测量架 | ||
| 摘要 | 一种用于保持测量仪器(26)、尤其是保持用来测量薄层厚度的测量仪器(26)的测量架，所述测量架包括外壳(18)，在所述外壳(18)中，凸轮随动件(23)被引导而能上下移动，并且所述测量仪器(26)设置在所述外壳(18)的面向测量物体(14)的那一端，其中，带电驱动装置(28)的驱动单元(29)驱动凸轮随动件(23)的提升运动，所述驱动单元(29)在向下运动时启动凸轮随动件(23)的在快速模式下的至少一个第一运动阶段，以及在徐动模式下的至少一个另一运动阶段，直到测量仪器(26)触碰到测量物体(14)的表面上。 | ||
| 申请公布号 | CN1945219A | 申请公布日期 | 2007.04.11 |
| 申请号 | CN200610108592.4 | 申请日期 | 2006.07.20 |
| 申请人 | 赫尔穆特·费希尔地产两合公司 | 发明人 | H·费希尔 |
| 分类号 | G01D11/00(2006.01);G01B7/06(2006.01) | 主分类号 | G01D11/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘华联 |
| 主权项 | 1.一种用于保持测量仪器(26)、尤其是可测量薄层厚度的测量仪器(26)的测量架，所述测量架包括外壳(18)，凸轮随动件(23)在所述外壳(18)中被引导而可上下移动，所述测量仪器(26)设置在所述外壳(18)的面向测量物体(14)的那一端，其特征在于，带电驱动装置(28)的驱动单元(29)驱动所述凸轮随动件(23)的提升运动，其中，所述驱动单元(29)在向下运动时启动所述凸轮随动件(23)的在快速运动模式下的至少一个第一运动阶段，以及在徐动运动模式下的至少一个另一运动阶段，直到所述测量仪器(26)触碰到所述测量物体(14)的表面上。 | ||
| 地址 | 德国辛德尔芬根 | ||