发明名称 |
用于将结构精确施加到基板上的方法和设备 |
摘要 |
本发明涉及一种提供基板的方法,其中,在扫描步骤中,通过加工头的至少一个扫描装置检测已经施加于基板的结构,其中该加工头至少设置有至少一个照射装置,该照射装置在照射步骤中利用在扫描步骤中获得的信息而局部照射该施加的漆结构。另外还描述了一种实施所述方法的设备,该设备配置有可以相对于基板载体相对移动的加工头,其中该加工头包括至少一个扫描装置和至少一个照射装置。 |
申请公布号 |
CN1947479A |
申请公布日期 |
2007.04.11 |
申请号 |
CN200580012506.3 |
申请日期 |
2005.04.22 |
申请人 |
OTB集团有限公司 |
发明人 |
马里纳斯·弗朗西斯库斯·约翰内斯·埃弗斯;彼得·布赖尔;科内利斯·彼得鲁斯·杜波 |
分类号 |
H05K3/12(2006.01);B41J11/00(2006.01);H01L21/027(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
H05K3/12(2006.01) |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
章社杲 |
主权项 |
1.一种提供基板的方法,其中,在扫描步骤中,通过加工头的至少一个扫描装置检测已经施加于所述基板的结构,其中所述加工头设置有至少一个照射装置,所述照射装置在照射步骤中利用所述扫描步骤获得的信息而局部照射该施加的漆结构。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |