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发明名称 LOAD-LOCK TECHNIQUE
摘要
申请公布号 KR100704297(B1) 申请公布日期 2007.04.10
申请号 KR20040100160 申请日期 2004.12.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;B65G49/00;G03F7/20;H01L21/00;H01L21/677 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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