发明名称 FABRICATION METHOD OF GAN SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100707166(B1) 申请公布日期 2007.04.06
申请号 KR20050096167 申请日期 2005.10.12
申请人 SAMSUNG CORNING CO., LTD. 发明人 SONG, IN JAE;HAN, JAI YONG
分类号 C23C16/01;C30B25/18;C30B29/38;H01L21/20;H01L21/205 主分类号 C23C16/01
代理机构 代理人
主权项
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