一种多轴真空电机组件

摘要

本发明提供一种多轴真空电机组件，其包括：(1)第一转子(104)；(2)第一定子(102)，适于整流以穿过真空阻挡件(106)旋转所述第一转子并控制真空室(108)内的第一机械手臂(110)的第一轴的旋转；(3)第二转子(122)，位于所述第一转子下方；(4)第二定子(120)，位于所述第一定子下方，并适于整流以穿过所述真空阻挡件(106)旋转所述第二转子并控制所述真空室(108)内的第二机械手臂的第二轴的旋转；(5)第一反馈器件(118)，适于监控所述第一机械手臂(110)的旋转；以及第二反馈器件(132)，适于监控所述第二机械手臂(124)的旋转。

主权项

1.一种多轴真空电机组件，包括：第一转子；第一定子，适于穿过真空阻挡件与所述第一转子磁耦合，以控制真空室内的机械手臂的第一轴的旋转；第二转子，位于所述第一转子下方；第二定子，位于所述第一定子下方，并适于穿过所述真空阻挡件与所述第二转子磁耦合，以控制所述真空室内的所述机械手臂的第二轴的旋转；第一反馈器件，位于所述真空阻挡件的大气侧，并适于经由穿过所述真空阻挡件的无源磁耦合装置监控所述机械手臂的所述第一轴的旋转；以及第二反馈器件，位于所述真空阻挡件的所述大气侧，并适于经由穿过所述真空阻挡件的无源磁耦合装置监控所述机械手臂的所述第二轴的旋转。