发明名称 |
POLISHING COMPOSITION AND POLISHING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20070037408(A) |
申请公布日期 |
2007.04.04 |
申请号 |
KR20060095999 |
申请日期 |
2006.09.29 |
申请人 |
FUJIMI INCORPORATED |
发明人 |
ITO TAKASHI;KIMURA YOSHIO |
分类号 |
C09K3/14;B24B37/00;B82Y10/00;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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