发明名称 METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATED LAYER GENERATION FOR DOUBLE-GATE FinFET DESIGNS
摘要
申请公布号 KR100702552(B1) 申请公布日期 2007.04.04
申请号 KR20040095823 申请日期 2004.11.22
申请人 发明人
分类号 G03F1/08;H01L27/04;G06F17/50;H01L21/336;H01L21/82;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/786 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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