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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATED LAYER GENERATION FOR DOUBLE-GATE FinFET DESIGNS
摘要
申请公布号
KR100702552(B1)
申请公布日期
2007.04.04
申请号
KR20040095823
申请日期
2004.11.22
申请人
发明人
分类号
G03F1/08;H01L27/04;G06F17/50;H01L21/336;H01L21/82;H01L21/8234;H01L27/08;H01L27/088;H01L29/786
主分类号
G03F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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