烘烤单元、使用此烘烤单元冷却加热板的方法、以及使用此烘烤单元处理基板的装置与方法

摘要

本发明提供一种使用一烘烤单元冷却加热板的方法。按照此方法，这加热板由一比这加热板要冷的温度调节板来冷却，这冷却通过在此加热板上提供这温度调节板来进行。当这温度调节板由一用以冷却基板的冷却板冷却之后，它被移到该加热板之上。