发明名称 固态影像拾取装置及模组式固态影像拾取装置
摘要 一种固态影像拾取装置包括以一XY矩阵方式排列之复数个像素,每一像素包含一用于将入射光光电转换成讯号电荷且在其中积聚该等如此光电转换之讯号电荷之光电转换部分1、一用于将该等如此积聚之讯号电荷转换成一电压之积聚区域3、及一用于将积聚于该光电转换部分1中之该等讯号电荷转移至该积聚区域3之转移闸极2,其中藉由在该转移闸极2下形成一电位位准差而增加许多饱和电荷。
申请公布号 TWI278109 申请公布日期 2007.04.01
申请号 TW094102702 申请日期 2005.01.28
申请人 新力股份有限公司 发明人 三品浩司;铃木亮司
分类号 H01L27/148(2006.01) 主分类号 H01L27/148(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 1.一种固态影像拾取装置,其包括: 复数个像素,每一该像素由以下部分组成; 一用于将入射光光电转换成讯号电荷且积聚该等 讯号电荷之光电转换部分; 一用于将该等积聚讯号电荷转换成一电压之积聚 区域;及 一用于将积聚于该光电转换部分中之该等讯号电 荷转移至该积聚区域之转移闸极,其中藉由在该转 移闸极下所形成之一电位位准差而增加了许多饱 和讯号电荷。 2.如请求项1之固态影像拾取装置,其中该光电转换 部分及该积聚区域系由第一导电率式半导体区域 所形成,且该转移闸极下该积聚区域侧之一部分掺 杂了第一导电率式杂质之离子。 3.如请求项1之固态影像拾取装置,其中该光电转换 部分及该积聚区域系由第一导电率式半导体区域 所形成,且该转移闸极下该光电转换部分侧之一部 分掺杂了第二导电率式杂质之离子。 4.一种模组式固态影像拾取装置,其包括: 一由一具有复数个像素之阵列组成之影像拾取区 域,每一像素包含一光电转换部分、一用于读出由 该光电转换部分所产生之电荷之读取闸极部分、 及一用于在其中积聚藉由该读取闸极部分而读出 之电荷之积聚部分;及 一用于将入射光引入至该影像拾取区域中之光学 系统,其中该读取闸极部分包含一位于该积聚部分 之该侧上之第一杂质区域、及一具有一低于该第 一杂质区域之电位的电位且邻近于该第一杂质区 域之第二杂质区域。 5.如请求项4之模组式固态影像拾取装置,其中该第 一及该第二杂质区域形成于一闸电极之下。 图式简单说明: 图1展示根据有关技术之固态影像拾取装置之实例 之一主要部分的平面图; 图2A为一沿着图1中线II-II所取之横截面图,且展示 根据有关技术之固态影像拾取装置之实例之一主 要部分; 图2B至2D分别为展示图2A中所示之固态影像拾取装 置之电位分布的图; 图3A展示根据有关技术之固态影像拾取装置之实 例之一主要部分的横截面图; 图3B至3D分别展示图2A中所示之固态影像拾取装置 之电位分布的图; 图4展示根据本发明之实施例之固态影像拾取装置 之排列的示意图; 图5展示图4中所示之固态影像拾取装置之单位像 素之实例之排列的示意图; 图6展示根据本发明之固态影像拾取装置之一主要 部分的平面图; 图7A为一沿着图6中线VII-VII所取之横截面图,且展 示根据本发明之实施例之固态影像拾取装置; 图7B至7D分别为展示图7A中所示之固态影像拾取装 置之电位分布的示意图; 图8展示根据本发明之其它实施例之固态影像拾取 装置之一主要部分的平面图;且 图9展示另一实施例之示意性平面图,其中本发明 应用于模组式固态影像拾取装置。
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