光罩空白板资讯取得系统

摘要

系对于光罩空白板之光阻膜按照图案资料来形成图案时，就复数膜分别取得用来与图案核对之膜资讯，其中，该光罩空白板于基板上形成有复数膜，该复数膜至少包含作为转印图案之薄膜。