发明名称 树脂封装方法、树脂封装装置、半导体装置之制造方法、半导体装置及树脂材料
摘要 首先,在下模具与上模具开模之状态下,于基板载置部设置基板。接着,将具有对应下模具模穴之尺寸及形状之尺寸及形状的树脂材料嵌入模穴内。然后,藉将树脂材料加热,而生成熔融树脂。之后,在将由上模具与下模具形成之空间减压之状态下,将上模具与下模具闭模。藉此,使晶片与电线浸于熔融树脂。然后,藉熔融树脂硬化,而形成由基板与硬化树脂构成之树脂成形品。
申请公布号 TWI277500 申请公布日期 2007.04.01
申请号 TW092132279 申请日期 2003.11.18
申请人 TOWA股份有限公司;富士通股份有限公司 发明人 浦上浩;中川长;藤野欣也;高濑慎二;德山秀树;目黑弘一;西野彻;早昇
分类号 B29C43/02(2006.01);H01L21/56(2006.01) 主分类号 B29C43/02(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路3段248号7楼;陈文郎 台北市松山区南京东路3段248号7楼
主权项 1.一种树脂封装方法,系使用由上模具及下模具构 成之模具组,将装设在基板主表面之电子零件以树 脂封装者,其具有以下步骤: (1)将前述基板安装于前述上模具; (2)在设置于前述下模具之模穴内,生成熔融树脂; (3)藉将前述模具组闭模,而将前述电子零件浸于前 述熔融树脂内; (4)藉在前述模穴内,使前述熔融树脂硬化,而形成 树脂成形品。 2.如申请专利范围第1项之树脂封装方法,其中在前 述生成熔融树脂之步骤中,藉将设置于前述模穴内 之固态树脂材料加热,形成前述熔融树脂。 3.如申请专利范围第1项之树脂封装方法,其中前述 基板之电极与前述电子零件之电极藉形成环状之 导电性材料在一定之平面内连接, 而在将前述电子零件浸于前述熔融树脂之步骤中, 前述一定平面以对前述熔融树脂几乎垂直之状态 移动。 4.一种半导体装置之制造方法,系利用申请专利范 围第1项所载之树脂封装方法,制造半导体装置者 。 5.一种树脂封装方法,系使用由上模具及下模具构 成之模具组以及树脂封装用固态树脂材料,以将装 设在基板主表面之电子零件以树脂封装者,其具有 以下步骤: (1)将前述基板设置于前述下模具; (2)将前述树脂材料载置于前述基板之主表面,俾使 前述树脂材料不致接触用以连接前述基板电极与 前述电子零件电极之导电性材料; (3)将前述模具组闭模; (4)藉将前述树脂材料加热,而在前述基板之主表面 上生成熔融树脂,同时,使前述电子零件包含在前 述熔融树脂内; (5)藉使前述熔融树硬化,而形成树脂成形品。 6.如申请专利范围第5项之树脂封装方法,其中前述 树脂材料具有对应前述模穴之尺寸及形状的尺寸 及形状, 且,藉热从前述上模具传达至前述树脂材料,而生 成前述熔融树脂。 7.如申请专利范围第5项之树脂封装方法,其中前述 树脂材料构造成:该树脂材料载置于前述基板之主 表面上时,形成于前述基板与前述树脂材料间之空 间系将前述电子零件包围在其内; 且前述空间之大小系设定为:使连接前述基板之电 极与前述电子零件之电极的导电性材料不接触前 述树脂材料。 8.一种半导体装置之制造方法,系利用申请专利范 围第5项所载之树脂封装方法,制造半导体装置者 。 9.一种固态树脂材料,其于一使被生成在设于模具 组之模穴中的熔融树脂硬化,藉此将已装设于基板 主表面之电子零件作树脂封装之树脂封装方法中, 系用作前述熔融树脂之原料,且具有对应前述模穴 之尺寸及形状的尺寸及形状; 前述树脂材料系构造成:该树脂材料载置于前述基 板之主表面上时,形成于前述基板与前述树脂材料 间之空间系将前述电子零件包围在其内; 而,前述空间之大小系设定为:使连接前述基板之 电极与前述电子零件之电极的导电性材料不致接 触前述树脂材料。 10.一种固态树脂材料,其于一使被生成在设于模具 组之模穴中的熔融树脂硬化,藉此将已装设于基板 主表面之电子零件作树脂封装之树脂封装方法中, 系用作前述熔融树脂之原料,且具有对应前述模穴 之尺寸及形状的尺寸及形状; 且,该树脂材料上设有缺口。 图式简单说明: 第1A图为第1实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示树脂材料设置于模具内之前之状态者 。 第1B图为第1实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示在模穴内生成熔融树脂后,将模具组 闭模前之状态者。 第2A图为第1实施形态之树脂封装置之部份截面图, 其系显示藉将模具组闭模,而将装设于基板之晶片 浸于熔融树脂内之状态者。 第2B图为第1实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示在模穴内形成硬化树脂之状态者。 第3A图为第1实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示将模具组开模后,自上模具取出树脂 成形品之前之状态者。 第3B图为第1实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示模具组闭模时之闭模部之状态者。 第4A图为第2实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示树脂材料设置于基板上之前之状态者 。 第4B图为第2实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示树脂材料设置于基板上之状态者。 第5A图为第2实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示藉上模具接触树脂材料,而将树脂材 料加热之状态者。 第5B图为第2实施形态之树脂封装装置之部份截面 图,其系显示藉在将模具组闭模之状态下,将树脂 材料熔融,而使熔融树脂填充于模穴内之状态者。
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