发明名称 A MATERIALS TRANSFER DEVICE FOR ALL MOUNT TO MAKE SEMICONDUCTOR ELEMENT AND CONTROL METHOD THEREFORE
摘要
申请公布号 KR100704174(B1) 申请公布日期 2007.03.30
申请号 KR20060105079 申请日期 2006.10.27
申请人 KOREA SEMICINDUCTOR SYSTEM CO., LTD. 发明人 PARK, MYUNG SOON
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址
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