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发明名称 Integrierte Schaltung mit einem dielektrischen Schichtverbund und Verfahren
摘要
申请公布号 DE60118817(T2) 申请公布日期 2007.03.29
申请号 DE20016018817T 申请日期 2001.02.08
申请人 SHARP K.K. 发明人 MA, YANJUN;ONO, YOSHI
分类号 H01L29/51;H01L29/78;B82B1/00;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/336;H01L21/8246;H01L27/105;H01L29/423 主分类号 H01L29/51
代理机构 代理人
主权项
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